科技日報北京3月17日電（孫友芳 王雪姣 記者付毅飛）記者17日從中國電科獲悉，該集團旗下電科裝備已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。
離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。據了解，在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素，按預定方式改變材料的電性能。這些元素以帶電離子的形式，被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中。離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。
作為國內唯一一家集研發、制造、服務于一體的離子注入機供應商，電科裝備連續突破大流強長壽命高品質離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”技術，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發明專利413項，實現我國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創新發展，有效緩解我國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。
電科裝備有關負責人表示，下一步該企業將瞄準高端，緊跟先進工藝發展，加快推進適用于更先進工藝節點離子注入機的研發及產業化。
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